Моделювання магнетронного розряду в рамках гібридної моделі

Тип публікації :
Магістерська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Геращенко Сергій Васильович
Мова основного тексту :
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
Геращенко С. В. Моделювання магнетронного розряду в рамках гібридної моделі : кваліфікаційна магістерська робота : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Геращенко Сергій Васильович. - Київ, 2023. - 49 с.
В роботі проведено моделювання магнетронного розряду в рамках одновимірної гібридної моделі. На основі запропонованої моделі створена програма на мові програмування С++ за допомогою якої проведені розрахунки задачі при різних значеннях тиску газу та величини магнітного поля.
Одержані просторові розподіли параметрів концентрації заряджених частинок та потенціалу самоузгодженого електричного поля. Для розрахунку потоків електронів та йонів було використано дрейфово-дифузійне наближення з урахуванням магнітного поля. Досліджено вплив цих параметрів на процес іонізації атомів газу та умови підтримання магнетронного розряду.
Галузі знань та спеціальності :
Тип зібрання :
Publication
Файл(и) :
Ескіз
Формат

Adobe PDF

Розмір :

1.72 MB

Контрольна сума:

(MD5):6ab048914b13851f67f3693324fe7634

Ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons CC BY-NC