Моделювання магнетронного розряду з пиловими частинками

Сіроткін Д. О. Моделювання магнетронного розряду з пиловими частинками : бакалаврська робота : 105 Прикладна фізика / Сіроткін Даніїл Олександрович. – Київ, 2023. – 36 с.

В даній роботі розроблена одновимірна гібридна модель магнетронного розряду з пиловими частинками, яка включає в себе гідродинамічні рівняння для моделювання повільних електронів та іонів за участю пилових частинок, метод Монте-Карло для моделювання процесів іонізації швидкими електронами, а також рівняння для визначення заряду пилових частинок. На основі цієї моделі
було модифіковано програмний код для розрахунку параметрів плазми при наявності пилових частинок.
Результати моделювання показали, що пилова компонента впливає на параметри магнетронного розряду. Зокрема, при наявності пилових частинок в розряді зменшується скачок потенціалу в прикатодному шарі, зменшуються концентрації іонів та електронів в між-електродному проміжку. Швидкість іонізації плазми практично не залежить від наявності пилової компоненти.