Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду

Тип публікації :
Магістерська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Абакуменко Олексій Юрійович
Мова основного тексту :
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
Абакуменко О. О. Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду : кваліфікаційна магістерська робота : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Абакуменко Олексій Юрійович. - Київ, 2023. - 31 с.
В роботі розроблено модель утворення та дифузії кластерів в камері магнетронного розряду.
Галузі знань та спеціальності :
Тип зібрання :
Publication
Файл(и) :
Ескіз
Формат

Adobe PDF

Розмір :

1.47 MB

Контрольна сума:

(MD5):9bfb2c0be84a4255196244e9ee0006cd

Ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons CC BY-NC