Розробка ліній затримки на основі поверхневих акустичних хвиль для подальшого застосування у двовимірних пристроях

Якименко А. О. Розробка ліній затримки на основі поверхневих акустичних хвиль для подальшого застосування у двовимірних пристроях : випускна кваліфікаційна робота бакалавра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Якименко Андрій Олегович. - Київ, 2023. - 36 с.

У дипломній роботі описано процес створення пристроїв на основі поверхневих акустичних хвиль (SAW). Зустрічно-штирьові перетворювачі з шириною штиря 2 мікрони були виготовлені за допомогою нанофабрикації поверх ніобатних підкладок. Прилад здатний збуджувати SAW із центральною частотою 427 МГц. Експериментальні результати порівнювали з теоретичною моделлю. Елементи S-матриці були проаналізовані та ефекти, які заважали SAW, були зменшені. Ми також розробили пристрої з розміром штиря від 1 мікрона до 100 нм. В деяких випадках, утворювалися зернисті структури, що, як було доведено, пов’язано з впливом дози опромінення на фоторезист. Пристрої, які ми виготовили, вже доступні для дослідженнь керованими поверхневими акустичними хвилями в області матеріалознавства.

Ключові слова: поверхневі акустичні хвилі; хвилі Релея; міжпальцевий перетворювач; мікролітографія; нанолітографія; оптична мікроскопія; амплітудно-частотна характеристика; S -параметри; скануюча електронна мікроскопія; стробування у часовій області; аналіз Фур'є.