Моделювання магнетронного розряду з пиловими частинками

Тип публікації :
Бакалаврська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Сіроткін Даніїл Олександрович
Мова основного тексту :
ua
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Сіроткін, Д. О. (2023). Моделювання магнетронного розряду з пиловими частинками. [Бакалаврська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6658
[ДСТУ] Сіроткін Д. О. Моделювання магнетронного розряду з пиловими частинками : кваліфікаційна робота бакалавра : 10 Природничі науки. Київ, 2023. 36 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6658 (дата звернення: 17.07.2026).
В даній роботі розроблена одновимірна гібридна модель магнетронного розряду з пиловими частинками, яка включає в себе гідродинамічні рівняння для моделювання повільних електронів та іонів за участю пилових частинок, метод Монте-Карло для моделювання процесів іонізації швидкими електронами, а також рівняння для визначення заряду пилових частинок. На основі цієї моделі
було модифіковано програмний код для розрахунку параметрів плазми при наявності пилових частинок.
Результати моделювання показали, що пилова компонента впливає на параметри магнетронного розряду. Зокрема, при наявності пилових частинок в розряді зменшується скачок потенціалу в прикатодному шарі, зменшуються концентрації іонів та електронів в між-електродному проміжку. Швидкість іонізації плазми практично не залежить від наявності пилової компоненти.
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки
105 Прикладна фізика та наноматеріали
Файл(и) :
Вантажиться...
Ескіз
Формат :

Adobe PDF

Розмір :

1.28 MB

Контрольна сума :

(MD5):e8cd61581faa7ae0beb8bf08632ce3b5

Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International