Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії

Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Ковтунович Владислав Миколайович
Анотація :
У роботі проведено дослідження щодо виготовлення контактів оптичною літографією. Встановлено, що безмаскова літографія ефективний та точний метод. Отримані результати можуть бути використані для досліджень характеристик графену.

Ключові слова: оптична літографія, графен, травлення.
Бібліографічний опис :
Ковтунович В. М. Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії : випускна кваліфікаційна робота бакалавра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Ковтунович Владислав Миколайович. - Київ, 2023. - 40 с.
URL :
Файл(и) :
Ескіз
Формат

Adobe PDF

Розмір :

4.04 MB

Контрольна сума:

(MD5):31a6d4fa8d4ea7fe3923645849e94be9

Ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons CC BY-NC