Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії

Тип публікації :
Бакалаврська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Ковтунович Владислав Миколайович
Мова основного тексту :
ua
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Ковтунович, В. М. (2023). Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії [Бакалаврська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/4837
[ДСТУ] Ковтунович В. М. Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії : кваліфікаційна робота бакалавра : 10 Природничі науки. Київ, 2023. 40 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/4837 (дата звернення: 25.07.2026).
У роботі проведено дослідження щодо виготовлення контактів оптичною літографією. Встановлено, що безмаскова літографія ефективний та точний метод. Отримані результати можуть бути використані для досліджень характеристик графену.

Ключові слова: оптична літографія, графен, травлення.
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки
105 Прикладна фізика та наноматеріали
Файл(и) :
Вантажиться...
Ескіз
Завантажити
Формат :

Adobe PDF

Розмір :

4.04 MB

Контрольна сума :

(MD5):31a6d4fa8d4ea7fe3923645849e94be9

Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International