Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду

Issue Date :
2023
Author(s) :
Абакуменко Олексій Юрійович
Abstract :
В роботі розроблено модель утворення та дифузії кластерів в камері магнетронного розряду.
Bibliographic description :
Абакуменко О. О. Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду : кваліфікаційна магістерська робота : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Абакуменко Олексій Юрійович. - Київ, 2023. - 31 с.
URL :
File(s) :
Thumbnail Image
Format

Adobe PDF

Size :

1.47 MB

Checksum :

(MD5):9bfb2c0be84a4255196244e9ee0006cd

This work is distributed under the Creative Commons license CC BY-NC

We collect and process your personal information for the following purposes: Authentication, Preferences, Acknowledgement and Statistics.
To learn more, please read our privacy policy.

Customize