Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду

Тип публікації :
Магістерська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Абакуменко Олексій Юрійович
Мова основного тексту :
ua
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Абакуменко, О. Ю. (2023). Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду [Магістерська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6590
[ДСТУ] Абакуменко О. Ю. Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду : кваліфікаційна робота магістра : 10 Природничі науки. Київ, 2023. 31 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6590 (дата звернення: 25.07.2026).
В роботі розроблено модель утворення та дифузії кластерів в камері магнетронного розряду.
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки
105 Прикладна фізика та наноматеріали
Файл(и) :
Вантажиться...
Ескіз
Завантажити
Формат :

Adobe PDF

Розмір :

1.47 MB

Контрольна сума :

(MD5):9bfb2c0be84a4255196244e9ee0006cd

Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International