Моделювання магнетронного розряду в рамках гібридної моделі
Тип публікації :
Магістерська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Геращенко Сергій Васильович
Мова основного тексту :
ua
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Геращенко, С. В. (2023). Моделювання магнетронного розряду в рамках гібридної моделі. [Магістерська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/8585
[ДСТУ] Геращенко С. В. Моделювання магнетронного розряду в рамках гібридної моделі : кваліфікаційна робота магістра : 10 Природничі науки. Київ, 2023. 49 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/8585 (дата звернення: 17.07.2026).
В роботі проведено моделювання магнетронного розряду в рамках одновимірної гібридної моделі. На основі запропонованої моделі створена програма на мові програмування С++ за допомогою якої проведені розрахунки задачі при різних значеннях тиску газу та величини магнітного поля.
Одержані просторові розподіли параметрів концентрації заряджених частинок та потенціалу самоузгодженого електричного поля. Для розрахунку потоків електронів та йонів було використано дрейфово-дифузійне наближення з урахуванням магнітного поля. Досліджено вплив цих параметрів на процес іонізації атомів газу та умови підтримання магнетронного розряду.
Одержані просторові розподіли параметрів концентрації заряджених частинок та потенціалу самоузгодженого електричного поля. Для розрахунку потоків електронів та йонів було використано дрейфово-дифузійне наближення з урахуванням магнітного поля. Досліджено вплив цих параметрів на процес іонізації атомів газу та умови підтримання магнетронного розряду.
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки
105 Прикладна фізика та наноматеріали
Файл(и) :![Ескіз]()
Вантажиться...
Формат :
Adobe PDF
Розмір :
1.72 MB
Контрольна сума :
(MD5):6ab048914b13851f67f3693324fe7634
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International