Методика обробки експериментальних даних при дослідженні структури епітаксіального шару

Журнал :
Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Серія фізико-математичні науки
Випуск :
1
ISSN :
1812-5409
Початкова сторінка :
94
Кінцева сторінка :
97
Цитування :
[APA 7] Вергун, Л. Ю., Свечнікова, О. С., & Бобровнік, С. Р. (2018). Методика обробки експериментальних даних при дослідженні структури епітаксіального шару. Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Серія фізико-математичні науки, (1), 94–97. https://ir.library.knu.ua/handle/15071834/29385
[ДСТУ] Вергун Л. Ю., Свечнікова О. С., Бобровнік С. Р. Методика обробки експериментальних даних при дослідженні структури епітаксіального шару. Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Серія фізико-математичні науки. 2018. № 1. С. 94—97. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/15071834/29385 (дата звернення: 10.08.2026).
Запропоновано методику обробки експериментальних даних, отриманих за допомогою атомно-силового мікроскопу, при дослідженні структури епітаксіального шару. Суть цієї методики полягає в тому, що поверхня описується за допомогою традиційної континуальної моделі, згідно з якою вертикальне зміщення точок поверхні від площини описується випадковим полем. Проведено апробацію запропонованої методики шляхом обробки експериментальних даних, які характеризують поверхню плівки, що утворилась внаслідок затвердіння 40% водного розчину глюкози на шліфованій скляній підкладці. Для досліджуваної системи визначено усереднений рельєф поверхні.
Файл(и) :
Вантажиться...
Ескіз
Завантажити
Формат :

Adobe PDF

Розмір :

1.45 MB

Контрольна сума :

(MD5):536635cbeceddff9ef4b1910058280eb

CC BY 4.0
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії CC BY 4.0