Моделювання утворення та дифузії кластерів у магнетронній камері
Тип публікації :
Магістерська робота
Дата випуску :
2025
Автор(и) :
Демешко, Олег Ігорович
Науковий(і) керівник(и)/редактор(и) :
Мова основного тексту :
Ukrainian
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Демешко, О. І. (2025). Моделювання утворення та дифузії кластерів у магнетронній камері [Магістерська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/15071834/18769
[ДСТУ] Демешко О. І. Моделювання утворення та дифузії кластерів у магнетронній камері : кваліфікаційна робота магістра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / наук. кер. О. Ю. Кравченко. Київ, 2025. 35 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/15071834/18769 (дата звернення: 25.07.2026).
На основі гібридної моделі промодельований магнетронний розряд у циліндричній камері, заповненій аргоном. Отримані результати були використані для дослідження впливу тиску газу на розпилення мідного катода, дифузію атомів міді в розрядній камері та процес утворення кластерів. Показано, що кількість атомів міді в розрядній камері, яка визначається їх потоком з катода, дифузією та процесами утворення та росту кластерів, немонотонно залежить від тиску газу та досягає максимального значення при p ~ 1,75 Торр. Результати моделювання також показують, що загальна кількість димерів та кластерів у камері збільшується зі збільшенням тиску газу при p < 1,75 Торр. Однак, з подальшим збільшенням тиску, кількість димерів залишається майже незмінною, тоді як кількість кластерів, що складаються з трьох або більше атомів міді, зменшується.
Ключові слова :
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки::105 Прикладна фізика та наноматеріали
Галузі науки і техніки (FOS) :
Фізичні науки
Файл(и) :![Ескіз]()
Вантажиться...
Формат :
Adobe PDF
Розмір :
945.58 KB
Контрольна сума :
(MD5):bb1a5c63961212028ae96332060b69ee
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International