Моделювання утворення та дифузії кластерів у магнетронній камері

Демешко О. І. Моделювання утворення та дифузії кластерів у магнетронній камері : дипломна робота магістра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / наук. кер. О. Кравченко. Київ, 2025. 35 с.

На основі гібридної моделі промодельований магнетронний розряд у циліндричній камері, заповненій аргоном. Отримані результати були використані для дослідження впливу тиску газу на розпилення мідного катода, дифузію атомів міді в розрядній камері та процес утворення кластерів. Показано, що кількість атомів міді в розрядній камері, яка визначається їх потоком з катода, дифузією та процесами утворення та росту кластерів, немонотонно залежить від тиску газу та досягає максимального значення при p ~ 1,75 Торр. Результати моделювання також показують, що загальна кількість димерів та кластерів у камері збільшується зі збільшенням тиску газу при p < 1,75 Торр. Однак, з подальшим збільшенням тиску, кількість димерів залишається майже незмінною, тоді як кількість кластерів, що складаються з трьох або більше атомів міді, зменшується.