Дослідження рухливості вільних дірок у приповерхневих каналах германію методом струму Холла

У роботі визначені основні електрофізичні характеристики (рухливість, концентрація, провідність) приповерхневих провідних каналів виникаючих при опроміненні германію протонами високих енергій Е=1,5Мев. У якості метода дослідження вибрано метод струму Холла, що має ряд переваг перед традиційним методом ЕРС Холла. Виміри проведені при температурі 77К. Показано, що рухливість вільних дірок в приповерхневих каналах германію виміряна цими двома холівськими методами співпадає з точністю до похибки експерименту і приблизно дорівнює (1-2)Т-1. Такі величини рухливості дірок близькі до тих, що спостерігається у чистих довершених кристалах (≈4Т-1 при 77К). Висловлено ряд можливих пояснень існуванню таких високих значень рухливості в кристалах опромінених значними дозами протонів високих енергій (до 1017см-2) і відповідно модифікованою структурою (висока концентрація дефектів по Френкелю). Для проведення подальших досліджень розроблена й перевірена методика відновлення зразків (зняття опроміненого модифікованого шару травленням). Розглянуті різні методи травлення. Виходячи з характеристик кожного методу був вибраний метод хімічного травлення в пергідролевому травнику, що являє собою суміш пероксиду водню Н2О2 з водою в різних концентраціях. Для оновлення зразків германію була вибрана концентрація перекису водню до 30%. Проведене експериментальне визначення швидкості травлення германію у пергідролевому травнику, що дорівнювала 1мкм за 20с. Визначена необхідна тривалість травлення для зняття приповерхневого шару зразка германію опроміненого протонами або α- частинками високих енергій.

Чобітько О. І. Дослідження рухливості вільних дірок у приповерхневих каналах германію методом струму Холла: дипломна магістерська робота : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Чобітько Олександра Іванівна. - Київ, 2020. - 38 с.