Спектроскопія плазми магнетронного розряду з домішками парів металів

Тип публікації :
Бакалаврська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Єханурова Тетяна Дмитрівна
Мова основного тексту :
ua
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Єханурова, Т. Д. (2023). Спектроскопія плазми магнетронного розряду з домішками парів металів [Бакалаврська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6661
[ДСТУ] Єханурова Т. Д. Спектроскопія плазми магнетронного розряду з домішками парів металів : кваліфікаційна робота бакалавра : 10 Природничі науки. Київ, 2023. 22 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6661 (дата звернення: 25.07.2026).
Під час виконання роботи було розглянуто більш детально плазму магнетронного розряду, магнетронне розпорошення та проаналізовано спектри. Отримано значення електронної температури, концентрацію електронів, та їх залежності від значень тиску, побудовано діаграми Больцмана. Також було показано залежність температури та концентрації від струму та тиску.
Згідно результатів експерименту, то отримані залежності доволі неоднозначні, але проглядаються тенденції: у випадку сталого струму, те, що температура зменшується. При сталому тиску і змінному струмі -температура спадає для першого розглянутого випадку і трохи зростає для другого, це можна враховувати як відхилення через похибку і вважати що температура, загалом не змінюється.



Ключові слова : спектроскопія, плазма, магнетронний розряд, метал, мідь, температура, концентрація, діаграма Больцмана, ефект штарка, функція Фойгта.
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки
105 Прикладна фізика та наноматеріали
Файл(и) :
Вантажиться...
Ескіз
Завантажити
Формат :

Adobe PDF

Розмір :

3.34 MB

Контрольна сума :

(MD5):0d76f889768ceb746a06e690be927202

Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International