Спектроскопія плазми магнетронного розряду з домішками парів металів

Під час виконання роботи було розглянуто більш детально плазму магнетронного розряду, магнетронне розпорошення та проаналізовано спектри. Отримано значення електронної температури, концентрацію електронів, та їх залежності від значень тиску, побудовано діаграми Больцмана. Також було показано залежність температури та концентрації від струму та тиску.
Згідно результатів експерименту, то отримані залежності доволі неоднозначні, але проглядаються тенденції: у випадку сталого струму, те, що температура зменшується. При сталому тиску і змінному струмі -температура спадає для першого розглянутого випадку і трохи зростає для другого, це можна враховувати як відхилення через похибку і вважати що температура, загалом не змінюється.



Ключові слова : спектроскопія, плазма, магнетронний розряд, метал, мідь, температура, концентрація, діаграма Больцмана, ефект штарка, функція Фойгта.

Єханурова Т. Д. Спектроскопія плазми магнетронного розряду з домішками парів металів : бакалаврська робота : 105 Прикладна фізика / Єханурова Тетяна Дмитрівна. – Київ, 2023. – 22 с.