Дослідження процесів іонної імплантації при осадженні тонких плівок AU -SI

Дата випуску :
2021
Автор(и) :
Суходоєв Вячеслав Олександрович
Анотація :
У роботі представлені теоретичні основи по тонким плівкам і методів їх отримання, комп'ютерна програма SRIM для моделювання процесів розпилення і іонної імплантації.
Бібліографічний опис :
Суходоєв В. О. Дослідження процесів іонної імплантації при осадженні тонких плівок AU -SI : випускна кваліфікаційна робота магістра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Суходоєв Вячеслав Олександрович. - Київ, 2021. - 62 с.
URL :
Файл(и) :
Ескіз
Формат

Adobe PDF

Розмір :

2.83 MB

Контрольна сума:

(MD5):2483f4b5d49494febea5899258bdf9a3

Ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons CC BY-NC