Моделювання утворення та дифузії кластерів в магнетронній камері

Демешко О. І. Моделювання утворення та дифузії кластерів в магнетронній камері : бакалаврська робота : 105 Прикладна фізика / Демешко Олег Ігорович. – Київ, 2023. – 22 с.

В даній роботі за допомогою числового моделювання досліджується утворення металевих кластерів в камері магнетронного розряду, заповненій аргоном при тисках 𝑝 = 0.1 ÷ 1 Торр. Для описання дифузії кластерів та атомів металу в камері використовуються двох-вимірні рівняння, які розв’язуються методом змінних напрямків.
В результаті проведених розрахунків отримані стаціонарні просторові розподіли концентрацій кластерів різних розмірів, які свідчать про те, що ефективне утворення кластерів відбувається лише в деякій обмеженій області камери. Ширина цієї області зменшується, а концентрація кластерів збільшується при збільшенні тиску аргону. Також одержані розподіли кластерів за їх розміром при різних тисках газу. Показано, що при збільшенні тиску кількість великих кластерів по відношенню до сумарної концентрації кластерів збільшується.


Ключові слова : мганетронний розряд, дифузія, процеси нуклеації, кластери, різницевий метод, моделювання.