Моделювання утворення та дифузії кластерів в магнетронній камері
Тип публікації :
Бакалаврська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Демешко Олег Ігорович
Мова основного тексту :
ua
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Демешко, О. І. (2023). Моделювання утворення та дифузії кластерів в магнетронній камері [Бакалаврська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6648
[ДСТУ] Демешко О. І. Моделювання утворення та дифузії кластерів в магнетронній камері : кваліфікаційна робота бакалавра : 10 Природничі науки. Київ, 2023. 22 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6648 (дата звернення: 25.07.2026).
В даній роботі за допомогою числового моделювання досліджується утворення металевих кластерів в камері магнетронного розряду, заповненій аргоном при тисках 𝑝 = 0.1 ÷ 1 Торр. Для описання дифузії кластерів та атомів металу в камері використовуються двох-вимірні рівняння, які розв’язуються методом змінних напрямків.
В результаті проведених розрахунків отримані стаціонарні просторові розподіли концентрацій кластерів різних розмірів, які свідчать про те, що ефективне утворення кластерів відбувається лише в деякій обмеженій області камери. Ширина цієї області зменшується, а концентрація кластерів збільшується при збільшенні тиску аргону. Також одержані розподіли кластерів за їх розміром при різних тисках газу. Показано, що при збільшенні тиску кількість великих кластерів по відношенню до сумарної концентрації кластерів збільшується.
Ключові слова : мганетронний розряд, дифузія, процеси нуклеації, кластери, різницевий метод, моделювання.
В результаті проведених розрахунків отримані стаціонарні просторові розподіли концентрацій кластерів різних розмірів, які свідчать про те, що ефективне утворення кластерів відбувається лише в деякій обмеженій області камери. Ширина цієї області зменшується, а концентрація кластерів збільшується при збільшенні тиску аргону. Також одержані розподіли кластерів за їх розміром при різних тисках газу. Показано, що при збільшенні тиску кількість великих кластерів по відношенню до сумарної концентрації кластерів збільшується.
Ключові слова : мганетронний розряд, дифузія, процеси нуклеації, кластери, різницевий метод, моделювання.
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки
105 Прикладна фізика та наноматеріали
Файл(и) :![Ескіз]()
Вантажиться...
Формат :
Adobe PDF
Розмір :
1.3 MB
Контрольна сума :
(MD5):5b15703e89a953c56ef5e5a41960be57
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International