Вплив моделі пружних іон-атомних зіткнень на кумулянти просторового розподілу імплантованих іонів

Чолій, Я., Макарець, М. (2025). Influence of the model of elastic ion-atomic collisions on the cumulants of the spatial distribution of implanted ions. Bulletin of Taras Shevchenko National University of Kyiv. Physics and Mathematics, 80(1), 182–188. https://doi.org/10.17721/1812-5409.2025/1.24

Розраховано кумулянти функції просторового розподілу іонів, імплантованих у тверде тіло, у моделі, де парні пружні іон-атомні зіткнення відбуваються на відстані, не меншій за міжатомну. Їхні значення знайдено для кумулянтів від першого по шостий порядок для кількох сотень пар іон – мішень і встановлено, що така розділеність пружних зіткнень змінює їхню величину порівняно зі значеннями, отриманими в моделі неперервних зіткнень. Відхилення можуть досягати десятків відсотків залежно від порядку кумулянта та відношення мас іона і атома мішені. Вони максимальні за енергій іонів порядку кількох кеВ, монотонно спадають з її зростанням приблизно до 100–300 кеВ, а за вищої енергії – перебувають у межах 1–2 %. Це зумовлено малим шляхом іона між послідовними пружними зіткненнями порівняно зі страгглінгами (розкид розподілу навколо максимуму) у поздовжньому і поперечному напрямі, що зростають зі збільшенням енергії іона.