Вплив моделі пружних іон-атомних зіткнень на кумулянти просторового розподілу імплантованих іонів
Тип публікації :
Стаття
Дата випуску :
7 липня 2025 р.
Автор(и) :
Макарець, Микола
Мова основного тексту :
Англійська
eKNUTSHIR URL :
Том :
80
Випуск :
1
ISSN :
1812-5409
Початкова сторінка :
182
Кінцева сторінка :
188
Цитування :
[APA 7] Чолій, Я., & Макарець, М. (2025). Influence of the model of elastic ion-atomic collisions on the cumulants of the spatial distribution of implanted ions. Bulletin of Taras Shevchenko National University of Kyiv. Physics and Mathematics, 80(1), 182–188. https://doi.org/10.17721/1812-5409.2025/1.24
[ДСТУ] Чолій Я., Макарець М. Influence of the model of elastic ion-atomic collisions on the cumulants of the spatial distribution of implanted ions. Bulletin of Taras Shevchenko National University of Kyiv. Physics and Mathematics. 2025. Vol. 80, no. 1. P. 182—188. DOI: 10.17721/1812-5409.2025/1.24 (date of access: 25.07.2026).
Розраховано кумулянти функції просторового розподілу іонів, імплантованих у тверде тіло, у моделі, де парні пружні іон-атомні зіткнення відбуваються на відстані, не меншій за міжатомну. Їхні значення знайдено для кумулянтів від першого по шостий порядок для кількох сотень пар іон – мішень і встановлено, що така розділеність пружних зіткнень змінює їхню величину порівняно зі значеннями, отриманими в моделі неперервних зіткнень. Відхилення можуть досягати десятків відсотків залежно від порядку кумулянта та відношення мас іона і атома мішені. Вони максимальні за енергій іонів порядку кількох кеВ, монотонно спадають з її зростанням приблизно до 100–300 кеВ, а за вищої енергії – перебувають у межах 1–2 %. Це зумовлено малим шляхом іона між послідовними пружними зіткненнями порівняно зі страгглінгами (розкид розподілу навколо максимуму) у поздовжньому і поперечному напрямі, що зростають зі збільшенням енергії іона.
Файл(и) :![Ескіз]()
Вантажиться...
Формат :
Adobe PDF
Розмір :
553.64 KB
Контрольна сума :
(MD5):19667b826d2b5e889d9636ae016e2437
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution 4.0 International