Скришевський Валерій АнтоновичКовтунович Владислав Миколайович2023-09-252024-05-132023-09-252023Ковтунович В. М. Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії : випускна кваліфікаційна робота бакалавра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Ковтунович Владислав Миколайович. - Київ, 2023. - 40 с.https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/4837У роботі проведено дослідження щодо виготовлення контактів оптичною літографією. Встановлено, що безмаскова літографія ефективний та точний метод. Отримані результати можуть бути використані для досліджень характеристик графену. Ключові слова: оптична літографія, графен, травлення.uaБакалаврська робота