Вербицький Володимир ГригоровичСуходоєв Вячеслав Олександрович2022-09-262024-05-132022-09-262021Суходоєв В. О. Дослідження процесів іонної імплантації при осадженні тонких плівок AU -SI : випускна кваліфікаційна робота магістра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Суходоєв Вячеслав Олександрович. - Київ, 2021. - 62 с.https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/1975У роботі представлені теоретичні основи по тонким плівкам і методів їх отримання, комп'ютерна програма SRIM для моделювання процесів розпилення і іонної імплантації.uk-UAМагістерська робота