Кравченко Олександр ЮрійовичАбакуменко Олексій Юрійович2024-02-132024-05-182024-02-132023Абакуменко О. О. Моделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розряду : кваліфікаційна магістерська робота : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Абакуменко Олексій Юрійович. - Київ, 2023. - 31 с.https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/6590В роботі розроблено модель утворення та дифузії кластерів в камері магнетронного розряду.uaМоделювання утворення кластерів в плазмі магнетронного розрядуМагістерська робота