Чолій, ЯрославЯрославЧолійМакарець, МиколаМиколаМакарець2026-06-302026-06-302025-07-07Чолій, Я., Макарець, М. (2025). Influence of the model of elastic ion-atomic collisions on the cumulants of the spatial distribution of implanted ions. Bulletin of Taras Shevchenko National University of Kyiv. Physics and Mathematics, 80(1), 182–188. https://doi.org/10.17721/1812-5409.2025/1.2410.17721/1812-5409.2025/1.24https://ir.library.knu.ua/handle/15071834/25797Cumulants of the spatial distribution function of ions implanted in solid have been calculated. Equation for distribution function takes into account a finite ion path between of elastic collisions with the target atoms. Comparison with results of Lindhard-Scharff-Schiott theory shown that cumulants of these distributions are differ each from other for ions energies lower than a few hundred keV, and at higher energies they are coincide. This is due to the small length of ion path between collisions in compared with its longitudinal and lateral stragglings. Pages of the article in the issue: 182 - 188 Language of the article: UkrainianРозраховано кумулянти функції просторового розподілу іонів, імплантованих у тверде тіло, у моделі, де парні пружні іон-атомні зіткнення відбуваються на відстані, не меншій за міжатомну. Їхні значення знайдено для кумулянтів від першого по шостий порядок для кількох сотень пар іон – мішень і встановлено, що така розділеність пружних зіткнень змінює їхню величину порівняно зі значеннями, отриманими в моделі неперервних зіткнень. Відхилення можуть досягати десятків відсотків залежно від порядку кумулянта та відношення мас іона і атома мішені. Вони максимальні за енергій іонів порядку кількох кеВ, монотонно спадають з її зростанням приблизно до 100–300 кеВ, а за вищої енергії – перебувають у межах 1–2 %. Це зумовлено малим шляхом іона між послідовними пружними зіткненнями порівняно зі страгглінгами (розкид розподілу навколо максимуму) у поздовжньому і поперечному напрямі, що зростають зі збільшенням енергії іона.enfast ionssolidcollision modeldistribution cumulantsШвидкі іонитверде тіломодель зіткненькумулянти розподілуСтаття