Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії
Дата
2023
Автори
Ковтунович Владислав Миколайович
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Анотація
У роботі проведено дослідження щодо виготовлення контактів оптичною літографією. Встановлено, що безмаскова літографія ефективний та точний метод. Отримані результати можуть бути використані для досліджень характеристик графену.
Ключові слова: оптична літографія, графен, травлення.
Бібліографічний опис
Галузь знань та спеціальність
10 Природничі науки , 105 Прикладна фізика та наноматеріали
Бібліографічний опис
Ковтунович В. М. Виготовлення контактів до графену методом оптичної літографії : випускна кваліфікаційна робота бакалавра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Ковтунович Владислав Миколайович. - Київ, 2023. - 40 с.