Дослідження процесів іонної імплантації при осадженні тонких плівок AU -SI
Дата
2021
Автори
Суходоєв Вячеслав Олександрович
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Анотація
У роботі представлені теоретичні основи по тонким плівкам і методів їх отримання, комп'ютерна програма SRIM для моделювання процесів розпилення і іонної імплантації.
Бібліографічний опис
Галузь знань та спеціальність
10 Природничі науки , 105 Прикладна фізика та наноматеріали
Бібліографічний опис
Суходоєв В. О. Дослідження процесів іонної імплантації при осадженні тонких плівок AU -SI : випускна кваліфікаційна робота магістра : 105 Прикладна фізика та наноматеріали / Суходоєв Вячеслав Олександрович. - Київ, 2021. - 62 с.