Розробка ліній затримки на основі поверхневих акустичних хвиль для подальшого застосування у двовимірних пристроях

Тип публікації :
Бакалаврська робота
Дата випуску :
2023
Автор(и) :
Якименко Андрій Олегович
Мова основного тексту :
ua
eKNUTSHIR URL :
Цитування :
[APA 7] Якименко, А. О. (2023). Розробка ліній затримки на основі поверхневих акустичних хвиль для подальшого застосування у двовимірних пристроях. [Бакалаврська робота, Київський національний університет імені Тараса Шевченка]. eKNUTSHIR. https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/4848
[ДСТУ] Якименко А. О. Розробка ліній затримки на основі поверхневих акустичних хвиль для подальшого застосування у двовимірних пристроях : кваліфікаційна робота бакалавра : 10 Природничі науки. Київ, 2023. 36 с. URL: https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/4848 (дата звернення: 17.07.2026).
У дипломній роботі описано процес створення пристроїв на основі поверхневих акустичних хвиль (SAW). Зустрічно-штирьові перетворювачі з шириною штиря 2 мікрони були виготовлені за допомогою нанофабрикації поверх ніобатних підкладок. Прилад здатний збуджувати SAW із центральною частотою 427 МГц. Експериментальні результати порівнювали з теоретичною моделлю. Елементи S-матриці були проаналізовані та ефекти, які заважали SAW, були зменшені. Ми також розробили пристрої з розміром штиря від 1 мікрона до 100 нм. В деяких випадках, утворювалися зернисті структури, що, як було доведено, пов’язано з впливом дози опромінення на фоторезист. Пристрої, які ми виготовили, вже доступні для дослідженнь керованими поверхневими акустичними хвилями в області матеріалознавства.

Ключові слова: поверхневі акустичні хвилі; хвилі Релея; міжпальцевий перетворювач; мікролітографія; нанолітографія; оптична мікроскопія; амплітудно-частотна характеристика; S -параметри; скануюча електронна мікроскопія; стробування у часовій області; аналіз Фур'є.
Галузі знань та спеціальності :
10 Природничі науки
105 Прикладна фізика та наноматеріали
Файл(и) :
Вантажиться...
Ескіз
Формат :

Adobe PDF

Розмір :

1.42 MB

Контрольна сума :

(MD5):8f9f27d26b1e523b022b58a10580fc96

Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International
Якщо не вказано інше, ця робота розповсюджується на умовах ліцензії Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International